| Eigenschaften |
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Nutzen |
| Drastisch reduzierte Prozessunterbrechungszeit |
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Weniger Ausschuss und Defekte
Erhöhte Prozessstabilität und Sputterraten
Kostenersparnis (Kein Filter) |
| System einfach einstellbar |
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Einfache und schnelle Konfiguration |
ARC-Parameter kollektiv einstellbar:
Basis Modus => kollektiv
Expert Modus => detailiert |
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Einfachere übergreifende Konfiguration. Bei Bedarf die volle Tiefe
der Parameter |
| Drastisch reduzierte Restenergie |
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Weniger Ausschuss und Defekte
Bessere Targetauslastung |
| Immunität gegenüber Störungen aus dem Plasma |
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Volles Leistungsspektrum auch bei kritischen Prozessen |
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